简介： 本发明涉及一种高精度氧碘化学激光远场光束质量测量装置，包括衰减分光镜、近场光强分布测量装置、聚焦透镜、分束器、两个光斑测量装置及数据处理单元；激光束的光路上设有分光器，分光器的一个输出光路上设有近场光强分布测量装置，另一输出光路上依次设有聚焦透镜和分束器，分束器的两个输出光路上分别设有光斑测量装置，所述光斑测量装置与近场光强分布测量装置均与数据处理单元连接。其方法为：控制两个导轨位于设定位置；数据处理单元根据光斑图像和近场光腔分布测量装置采集的强光光束的近场强度分布数据得到光束的远场光束质量数据。本发明由于采及图形远离焦点，减小了CCD动态范围引入的测量误差，同时也降低了对成像系统的焦距要求。