简介： 一种用于改良电化学电容电压(EVC)造形测量准确度的装置与方法,其方式是警示操作者蚀刻过程中产生表面薄膜或气泡,使用该就地监控装置在测量循环结束时测定实际测量区域,并使用新值重新计算该数据。通过使区域测量与EVC工具形成整体,可针对该实际测量区域修正每个样品的测量,从而可改良准确度并消除一大的错误源。