简介： 本发明提供一种掩膜版版图及其监测化学机械研磨工艺窗口的方法,所述掩膜版版图包括第一层版图和第二层版图,所述第一层版图包括第一组图形和第二组图形,所述第二层版图包括第三组图形和第四组图形,所述第三组图形至少部分覆盖第一组图形,所述第四组图形至少部分覆盖第二组图形,所述第一组图形、第二组图形、第三组图形和第四组图形均包括多个间隔分布的开口图形,所述开口图形用于形成金属互连线,所述第一组图形的开口图形的分布周期与第二组图形的开口图形的分布周期不相同,本发明可监测化学机械研磨工艺窗口。