简介： 本发明公开了一种化学交换法分离硅同位素过程分离系数的测定方法及其所采用的装置，系采用醇类络合剂，由SiF4气体与四氟化硅醇类络合物进行硅同位素化学交换反应，测量不同温度及压力下的硅同位素分离系数；装置包括氮气钢瓶（1）、反应气SiF4钢瓶（2）、SiF4缓存罐（3）、分子筛柱（4）、化学交换反应釜（5）、带搅拌具有温度调节功能的冷冻加热器（6）、液相取样瓶（7）、气相取样瓶（8）、缓冲罐（9）及真空泵（10）。本发明结构合理，能够用于测量不同温度、不同压力条件下的四氟化硅-四氟化硅络合物体系同位素交换的分离系数。