简介： 本发明提供了一种化学气相沉积设备中实时测量衬底翘曲的方法及装置。该测量方法包含以下步骤：用分波前的方法将一束激光分成几个相干光源照射衬底表面，用图像传感器测量衬底反射的衍射干涉图样形状，对比有翘曲和无翘曲时的衍射干涉图样形状计算衬底翘曲。使用该方法的测量装置由光源、图案挡光板、能量分光镜、承载盘、图像传感器、信号处理单元组成。本发明的优点是测量装置结构紧凑简单，能够实时快速检测外延片的局部翘曲，能够避免承载盘倾斜或者抖动造成的影响，测量精度高。