简介： 本发明的基板污染物分析装置，作为将从分析对象基板利用扫描喷嘴扫描的样品溶液通过流路从所述扫描喷嘴移送到分析器的基板污染物分析装置，其特征在于，包括：样品管，具有装载所述样品溶液的空间；转换阀，与所述样品管结合，至少具有将所述样品溶液装载到所述样品管的装载部位和将所述装载的所述样品溶液喷射到所述分析器处的喷射部位，所述样品溶液装载到所述样品管时所述样品溶液的前后包括气体区间，还包括：传感器，设置在所述样品管且区分感测所述气体区间与所述样品溶液。