简介： 本发明公开了一种用于热丝化学气相沉积衬底表面温度测量的装置，包括气相沉积系统和用于检测衬底温度的测温装置，所述的气相沉积系统包括密闭腔室，在密闭腔室的内部设有基片台，基片台端面用于放置衬底，基片台的底部固定用于驱动基片台运动的旋转轴，旋转轴的另一端从密闭腔室的底部伸出；所述的测温装置为红外测温仪，在密闭腔室的侧壁设有测量通道，测量通道的端部设有观察窗，所述红外测温仪的探头与所述观察窗对正。该装置可用于热丝化学气相沉积过程中，衬底表面温度的测定。通过采用红外测温的技术，实时无损的监测该温度在反应过程中的变化情况。该技术属于非接触式测量技术，不会对反应过程中基片台的其它行为(如旋转、升降等)产生影响。