简介： 本发明公开了一种具有单分子灵敏度的化学吸附反应测试系统，包括配气单元、进样和定容单元、吸附反应单元、真空发生单元和系统控制单元。其中，配气单元包括多路进气入口、混合气出口和质量流量计；进样和定容单元包括密封阀、六通阀、压力传感器、定容腔和出口；吸附反应单元包括密封阀、吸附反应器和程序控温炉；真空发生单元包括密封阀、真空泵以及尾气出口；系统控制单元包括数模转化模块和可视化操作的控制终端。本发明还提供了使用该测试系统进行化学吸附反应测试的方法，能在分子尺度下对朗格缪尔式吸附及表面反应进行定量化测试。