简介： 本发明公开了一种用于化学机械抛光设备的抛光液厚度测量装置及测量方法。化学机械抛光设备包括抛光头、转台、抛光盘和抛光垫。抛光液厚度测量装置包括距离传感器,距离传感器设置在抛光盘内用于测量距离传感器到抛光头上的晶圆的距离;距离变送器,距离变送器设置在转台内且与距离传感器相连用于将距离传感器的测量信号转换为标准电信号;处理单元,处理单元与距离变送器相连用于获取标准电信号以得到抛光头与抛光垫之间的抛光液厚度。根据本发明实施例的抛光液厚度测量装置可以在线测量并得到抛光头与抛光垫之间的抛光液厚度。本发明还公开了一种具有所述抛光液厚度测量装置的化学机械抛光设备。