基于机械密封的电化学地震检波器及其封装方法
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基于机械密封的电化学地震检波器及其封装方法
来源:北方有色网
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简介: 本发明公开了一种基于机械密封的电化学地震检波器及其封装方法,所述电化学地震检波器包括:固定圈、外壳、弹性膜和电极敏感核心;所述电极敏感核心置于两个所述外壳之间,且所述电极敏感核心与外壳之间通过柔性密封垫圈密封;所述弹性膜置于每个所述外壳与固定圈之间,以实现固定圈与外壳之间的密封,所述外壳与所述固定圈之间通过机械方式固定。电极敏感核心采用MEMS加工技术制造出来后,将其密封在小的密封件中,再将小的密封件密封在大的外壳中,最后用螺丝加固完成整个检波器的封装。所有的硬接触面之间均放置一层软垫,螺丝加固时,软垫发生形变,实现机械密封。
本发明公开了一种基于机械密封的电化学地震检波器及其封装方法,所述电化学地震检波器包括:固定圈、外壳、弹性膜和电极敏感核心;所述电极敏感核心置于两个所述外壳之间,且所述电极敏感核心与外壳之间通过柔性密封垫圈密封;所述弹性膜置于每个所述外壳与固定圈之间,以实现固定圈与外壳之间的密封,所述外壳与所述固定圈之间通过机械方式固定。电极敏感核心采用MEMS加工技术制造出来后,将其密封在小的密封件中,再将小的密封件密封在大的外壳中,最后用螺丝加固完成整个检波器的封装。所有的硬接触面之间均放置一层软垫,螺丝加固时,软垫发生形变,实现机械密封。
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标签:化学分析
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