利用化学腐蚀和化学镀的双参数测量光纤光栅传感器
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利用化学腐蚀和化学镀的双参数测量光纤光栅传感器
来源:北方有色网
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简介: 一种利用化学腐蚀和化学镀的双参数测量光纤光栅传感器,适用于光纤传感。其特征在于:该传感器是由相位掩膜法制成的光纤布拉格光栅,它被均匀分成两部分,光纤布拉格光栅的左半部分(1)被氢氟酸溶液腐蚀直径变细,并在左半部分上镀上一层金属(2),光纤布拉格光栅的右半部分(3)保持不变。该传感器的制作步骤为:采用相位掩模板法制作光纤布拉格光栅;将布拉格光栅左半部分放入氢氟酸溶液中腐蚀;在腐蚀后的光纤布拉格光栅表面吸附一层易氧化物质;在腐蚀后的光纤布拉格光栅表面生成一层薄金属层;对腐蚀后的光纤布拉格光栅进行化学镀金属。该传感器结构简单,容易制作;温度和应力传感灵敏度得到了提升;可以实现双参数的同时测量。
一种利用化学腐蚀和化学镀的双参数测量光纤光栅传感器,适用于光纤传感。其特征在于:该传感器是由相位掩膜法制成的光纤布拉格光栅,它被均匀分成两部分,光纤布拉格光栅的左半部分(1)被氢氟酸溶液腐蚀直径变细,并在左半部分上镀上一层金属(2),光纤布拉格光栅的右半部分(3)保持不变。该传感器的制作步骤为:采用相位掩模板法制作光纤布拉格光栅;将布拉格光栅左半部分放入氢氟酸溶液中腐蚀;在腐蚀后的光纤布拉格光栅表面吸附一层易氧化物质;在腐蚀后的光纤布拉格光栅表面生成一层薄金属层;对腐蚀后的光纤布拉格光栅进行化学镀金属。该传感器结构简单,容易制作;温度和应力传感灵敏度得到了提升;可以实现双参数的同时测量。
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标签:化学分析
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