简介： 本发明涉及一种化学镀体系中化学镀溶液活性的量化方法，所述量化方法包括：对化学镀体系中的一个或多个化学镀溶液分别进行EIS测量，对各EIS测量的结果进行数据处理，获得相应的电荷转移电阻值，得到各化学镀溶液的活性与电荷转移电阻值的对应关系，以用电荷转移电阻值量化所述化学镀体系中的各化学镀溶液的活性。本发明还涉及量化测定化学镀体系中化学镀溶液活性的方法和设备。