对封装芯片进行测试及失效分析的方法
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对封装芯片进行测试及失效分析的方法
来源:北方有色网
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简介:
本发明提供了一种对封装芯片进行测试及失效分析的方法,对封装芯片靠近金球的一面进行第一次研磨,至暴露出所述金球,从而可以采用探测板通过金球对所述封装芯片进行探针测试;对封装芯片靠近硅衬底的一面进行第二次研磨,至暴露出所述硅衬底,从而可以采用红外定位的方法确定封装芯片的失效点,避免了现有技术中高温和化学腐蚀对封装芯片的影响或破坏,提高对封装芯片进行失效分析的准确性及效率。
本发明提供了一种对封装
芯片
进行测试及失效分析的方法,对封装芯片靠近金球的一面进行第一次研磨,至暴露出所述金球,从而可以采用探测板通过金球对所述封装芯片进行探针测试;对封装芯片靠近硅衬底的一面进行第二次研磨,至暴露出所述硅衬底,从而可以采用红外定位的方法确定封装芯片的失效点,避免了现有技术中高温和化学腐蚀对封装芯片的影响或破坏,提高对封装芯片进行失效分析的准确性及效率。
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标签:化学分析
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