简介： 本发明提出一种用于生物医学电化学检测的三维微电极结构及其制作方法。利用微加工技术,在衬底表面制作牺牲层和具有一定内应力的双层金属结构,通过去除牺牲层,将制作于衬底表面的微电极金属释放,使其通过本身的内应力作用产生背离衬底表面的翘曲,从而形成一种三维立体微电极结构。该三维微电极与将流体有更好的接触,且在相同的电极尺寸下增大了微电极与流体的有效接触面积。