简介： 非破坏性定量检测砷化镓单晶化学配比的方法; 利 用X射线双晶衍射仪测量半绝缘砷化镓单晶片的晶格常数am; 采用实时仪器校正X射线双晶衍射仪产生的误差, 以高纯(11个″9″)、无位错硅单晶片为标准样品, 每次测量晶格常数后, 测量标准样品的晶格常数, 计算仪器误差 : Δa’=a’－a’0其中, a’0=5.431058A为硅单晶的标准晶格常数; 按下式消除仪器的测量误差, 得到准确的单晶晶格常数 : a=am－Δa’, am为半绝缘砷化镓单晶晶格常数的测量值。