直立石墨烯电化学电极检测芯片及其制作方法
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直立石墨烯电化学电极检测芯片及其制作方法
来源:北方有色网
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简介: 本发明公开一种直立石墨烯电化学电极检测芯片及其制作方法,该直立石墨烯检测芯片包括:基材和生长于所述基材上的直立石墨烯层,所述基材上预制有一套或多套凹槽,所述直立石墨烯层生长填充于所述凹槽内,形成有一个或多个电化学电极集成化检测芯片结构;所述直立石墨烯层的高度小于或等于所述凹槽的深度。所述制作方法包括以下步骤:提供一基材,并在所述基材上预制一套或多套凹槽;在所述凹槽内生长直立石墨烯层;对生长完成的直立石墨烯层进行处理,使所述直立石墨烯层的上表面与所述基材的上表面相平齐。本发明基材上的凹槽对纳米级脆弱的直立石墨烯层具有保护效果,且一定程度上降低了检测芯片的厚度,提高了后续应用的稳定性和可靠性。
本发明公开一种直立石墨烯电化学电极检测芯片及其制作方法,该直立石墨烯检测芯片包括:基材和生长于所述基材上的直立石墨烯层,所述基材上预制有一套或多套凹槽,所述直立石墨烯层生长填充于所述凹槽内,形成有一个或多个电化学电极集成化检测芯片结构;所述直立石墨烯层的高度小于或等于所述凹槽的深度。所述制作方法包括以下步骤:提供一基材,并在所述基材上预制一套或多套凹槽;在所述凹槽内生长直立石墨烯层;对生长完成的直立石墨烯层进行处理,使所述直立石墨烯层的上表面与所述基材的上表面相平齐。本发明基材上的凹槽对纳米级脆弱的直立石墨烯层具有保护效果,且一定程度上降低了检测芯片的厚度,提高了后续应用的稳定性和可靠性。
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标签:化学分析
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