简介： 本发明公开了一种检测化学气相淀积薄膜小微粒的方法，至少包含以下步骤：步骤1、准备晶圆基材；步骤2、在晶圆基材上沉积金属；步骤3、在沉积金属上沉积化学气相淀积薄膜；步骤4、开始刻蚀过程；步骤5、利用表面扫描工具扫描化学气相淀积薄膜的缺陷。本发明能够检测到PECVD薄膜的小微粒，降低废料风险。