简介： 本发明涉及超精密加工技术领域领域，特别是涉及一种化学机械抛光状况的在线检测装置，摩擦力检测装置与被检测设备的抛光轮连接；摩擦力检测装置用于检测工件所受的摩擦力；抛光液状况检测装置包括设置在被检测设备的抛光液储液罐内的抛光液ORP传感器；抛光液ORP传感器用于检测抛光液状况；压力检测装置、抛光垫表面状况检测装置和工件表面状况检测装置均设置在被检测设备上；压力检测装置用于检测工件所受的压力；抛光垫表面状况检测装置用于检测抛光垫表面状况；工件表面状况检测装置用于检测工件表面状况，从而实现化学机械抛光设备加工效率的提升，降低废品率。