简介： 本发明提供了一种化学机械研磨的抛光垫图像检测系统及方法。化学机械研磨的抛光垫图像检测系统包括：图像采集装置及图像对比处理装置。通过对比待检测抛光垫的表面形貌图像与对应的目标抛光垫表面形貌图像，确定并修复待检测抛光垫的表面缺陷。本发明提供的化学机械研磨的抛光垫图像检测系统及方法提高了抛光垫表面缺陷检测的效率和准确性，降低晶圆出现刮伤报废的风险，改善了晶圆良品率。