简介： 本发明提供了一种能够高精度地检测生物分子的化学传感器、生物分子检测装置和生物分子检测方法。根据本发明的化学传感器包括基板、光学层和中间层。在所述基板上形成有平面状配置的多个光电二极管。所述光学层层叠在所述基板上，并且在所述光学层内形成有将入射光引导到所述各光电二极管的波导。所述中间层层叠在所述光学层上，并且在所述中间层上针对每个波导形成有能够保持探针材料的探针保持区域。