简介： 本发明公开了一种简便、快速、稳定的氮化硅分析测定方法，依次包括：将氮化钛或碳氮化钛试样用氢氟酸预处理，再加入硝酸溶解获得试样溶液；试样溶液加入硼酸溶液络合试样溶液中过量的氟；用电感耦合等离子体原子发射光谱仪测定试样溶液中硅元素的发射强度，然后根据ρ＝AI+B，计算氮化硅分析结果；本发明解决现有化学分析检测方法存在的操作过程复杂，稳定性差的问题，以适应氮化钛及碳氮化钛生产工艺中氮化硅的分析检测的需要。