简介： 本实用新型公开了一种用于硅粉废料处理的干燥设备，其特征在于它包括依次相连的真空干燥机、冷凝器、储液罐和真空机组，所述真空干燥机顶部和底部分别设有进料口和卸料口，所述真空干燥机的进料口和卸料口装有机械密封。所述真空干燥机采用夹套加热方式，以蒸汽或者导热油作为加热介质。所述真空干燥机内部还设有温度探头和搅拌装置。所述真空机组包括两级真空泵，可使装置内真空度达到1kPa。本实用新型安全可靠，处理后的硅粉废料可以作为产品销售，储存和运输方便，没有自燃的危险。处理过程中可以回收硅粉废料吸附的少量切割液，经济效益可观。