简介： 本实用新型提供一种三氯氢硅合成炉停炉后废硅粉回收系统，通过设置进料管线和卸料管线，并借助真空泵，将三氯氢硅合成炉内的废硅粉输送至分离器中，一方面，实现了废硅粉的封闭式回收，避免了硅粉与空气中氧气和水分接触，保证的硅粉的活性，也降低了闪爆的危险，提高安全性；另一方面，降低人工劳动强度，保护了职工身体健康；通过分离器对废硅粉中的大颗粒的硅粉与小颗粒的硅尘进行分离，将大颗粒的硅粉输回收至三氯氢硅合成炉内，避免将失去活性的小颗粒硅尘带入三氯氢硅合成炉内，能够延长三氯氢硅合成炉的检修周期；该废硅粉回收系统结构简单，易于操作。