简介： 本发明公开了一种集成电路行业废硫酸回收利用方法及系统，属于危险废物处置技术领域。该方法包括以下步骤：S1、加热：在催化剂的存在下，将待处理的废硫酸加热至25‑90℃，加热1‑2h，制得稀硫酸；S2、浓缩：将步骤S1制得的稀硫酸进行浓缩，浓缩温度为110‑160℃，浓缩4‑8h，制得浓硫酸；S3、精馏：将步骤S2制得的浓硫酸进行精馏，精馏2‑4h，制得高纯硫酸。该回收利用方法及系统不仅可以减少废硫酸在排放过程中对环境造成污染的可能性，而且能够通过该方法，去除废硫酸中的过氧化氢、其他微量阴离子杂质和金属离子杂质，并且不带入其他杂质，制得高纯度的硫酸，该硫酸可作为化学试剂使用，从而减少资源浪费。