简介： 提供一种用于多晶硅生产中含二氯二氢硅废液的回收利用装置，包括废液储罐、高低沸处理精馏塔、脱轻精馏塔、四氯化硅提纯塔、混合器以及反歧化装置，废液储罐通过废液输送泵与高低沸处理精馏塔连接，高低沸处理精馏塔塔顶与脱轻精馏塔连接，脱轻精馏塔塔顶通过二氯二氢硅输送泵与混合器连接，高低沸处理精馏塔塔釜与四氯化硅提纯塔连接，四氯化硅提纯塔塔顶通过四氯化硅输送泵与混合器连接，混合器与反歧化装置连接，反歧化装置与废液储罐连接。本实用新型能够对多晶硅生产的废液中的二氯二氢硅循环回收转化，有效减少由于废液外排而造成的价值损失，提高了物质的回收利用率，降低废液处理的危险性，本实用新型能量消耗少，设备数量少，制造成本低。