简介： 本实用新型公开了一种能够避免尾排管爆炸的用于制备硅片表面氧化铝膜的装置。该装置包括设置有炉门的真空沉积室，真空沉积室内设有石墨舟，真空沉积室上设有进气口与排气口，进气口上连接有用于通入制程气体的导气管，排气口上连接有真空泵，真空泵的出口连接有尾排管，通过尾排管上设置尾气处理装置，真空沉积室内反应完毕的废气在真空泵的作用下，尾气先经过气爆室与空气发生反应，再经过水爆室内与水发生反应，尾气再进入甲烷燃烧时将生成的甲烷燃烧殆尽后再进入尾排管，进入尾排管的尾气由于不含有三甲基铝也就不会发生爆炸，避免了尾排管经常发生爆炸的危险情况发生，其安全性大大提高。适合在太阳能电池硅片加工设备领域推广应用。