简介： 本发明涉及危废物处理技术领域，具体公开了一种CVD粉尘半干法处理工艺，其中处理工艺为将CVD粉尘和药剂通入反应釜中进行反应，反应过程中加水以控制反应釜内物料含水率为30～40％，反应完成后进行填埋处理；所述药剂由石灰、氯化钙和磷酸二氢钾组成。本发明处理成本低，与传统方法相比，成本节约50％以上，处置过期节省50％以上，处理后的物料中反应完成后TCLP浸出合格，氟化物小于120mg/L,氨氮小于2000mg/L，处理后的物料硬化成型度好，检测合格后可直接填埋处理。本发明还公开了一种CVD粉尘处理系统，操作便利，易于控制，安全度高。