简介： 本实用新型提供一种冷阱装置、尾气处理系统及半导体生产设备。冷阱装置可以用于对从反应腔室排出的尾气进行预处理。冷阱装置包括罐体及位于罐体上的冷却管路，罐体包括罐体上部的冷却区，其冷却区顶部设置有进气口且进气口与反应腔室相连接；罐体还包括位于罐体下部的沉淀区，沉淀区侧壁设置有排气口和排气口。采用本实用新型的冷阱装置能避免粉尘沉积在抽气装置上造成抽气装置停机，减少抽气装置和尾气处理装置的废气处理量且延长设备清洗保养周期以降低生产成本；尾气处理系统能快速高效地处理各种废气以降低对环境的危害，且结构简单，成本低廉；采用本实用新型的半导体生产设备，能减少保养频率，有效降低生产成本。