简介： 本实用新型公开了一种用于半导体枚叶式清洗设备的硫酸回收利用装置，包括第一混合液处理机构，包括储存罐，进口端连通清洗设备的混合液体出口端，储存罐的出口端连通清洗设备的硫酸进口端，以将经加热处理后的混合液补充入清洗设备内；加热氮气源，连通储存罐以向储存罐内通入热氮气体；废气流出管，连接在储存罐的出口处。本实用新型可以将混合液进行加热处理，利用氮气的温度使过氧化水分解，从而提高混合液中的硫酸浓度至需要的浓度值，再将经过加热处理的混合液返回到清洗机内作为补充，继续参与晶圆的清洗过程。可以回收利用硫酸，大大降低了废水处理成本，简化生产工艺，降低对环境的危害。同时降低了硫酸的消耗量。