简介： 本发明涉及一种超高纯石英及其制备方法。该制备方法包括依次进行的石英预处理、表面杂质清洗、表面缺陷增加、石英晶格金属杂质的扩散偏聚及表面杂质偏聚区剥蚀步骤；石英晶格金属杂质的扩散偏聚步骤采用焙烧进行处理，表面杂质偏聚区剥蚀步骤采用氢氧化钠进行处理。该制备方法并未使用氢氟酸、氯气、氟化氢气体等对环境不友好或危险性高的物质，对环境友好；且盐酸浸出步骤和氢氧化钠浸出步骤产生的废液可以互相中和，可极大程度地减少石英工业废水处理成本。