简介： 本发明公开了一种超高纯氢氟酸的制备方法，包括：1）将无水氟化氢汽化，掺入含有氟气、三氟化氮和二氟化氧中的一种或多种的含氟气体，得第一混合气；2）将所述第一混合气通入等离子体发生装置中，使第一混合气中含有的杂质三氟化砷转化为五氟化砷，得第二混合气；3）将第二混合气通过含有金属氟化物的水溶液进行洗涤得到纯化的氟化氢，并控制水溶液的温度，洗涤过程中第二混合气中的五氟化砷反应转化为砷酸盐，保留在水中；4）选择性地重复步骤2）和步骤3）的步骤；5）将所述超高纯氟化氢溶解于水中，过滤，得纯化的氢氟酸；本发明的方法简单、高效，成本低，可连续生产，不会给后续应用带来不利影响，且无化工危险废弃物，对环境危害小。