简介： 本实用新型公开了一种高温扩散设备，包括真空泵，所述排废管的左侧设有第二弧形管，所述排废管的外侧套接有第一弧形管，所述第一弧形管与排废管的中间留有空隙，所述第一弧形管的外侧上端设有出气口，该高温扩散设备由真空泵连接干燥过滤装置，由真空表显示扩散炉管内腔的压力，通过加热仓加热，由进气管和排废管实现整个装置，通过对原有基础的排气管进行改造，解决了排废管的腐蚀断裂，增加了排废管使用寿命，减少了人员的工作劳动，有利于提高设备的正常运行率，同时也降低偏磷酸对人体的危害。使得气体可以通过排废管上的排气孔快速排放，可以快速排走，加快工艺废气的排放，减少腐蚀，提高片内、片间扩散的均匀性。