简介： 本发明涉及氧化锌掺杂的钛酸铋钠?钴酸铋压电薄膜及其制备方法，可有效克服铅基薄膜材料在生产、使用及废弃的过程中个生态环境和人类健康带来的危害的问题，方法是，按照0.97Bi0.5Na0.5TiO3?0.03BiCoO3+x%wtZnO的化学计量称取原料Bi2O3、NaCO3、TiO2、Co2O3和ZnO，以乙醇为介质球磨，烘干，700℃预烧3h，再以乙醇为介质球磨，烘干，压制成坯片，烧结成BNT?BC?ZnO靶材；将BNT?BC?ZnO靶材和(111)Pt/Ti/SiO2/Si(001)基片分别安装在靶材托和基片托上，调整靶材和基片的距离，抽真空，加热基片，在背底真空达到10?4?Pa、基片温度500?700℃后，通入氩气和氧气，气压0.5?5Pa；调节溅射功率为50?200W，靶材起辉后，开始生长薄膜，薄膜生长结束，原位退火，即成，本发明材料配方简单，易制备，产品质量好，环保。