简介： 一种电子级水的集成膜过程生产工艺与过程,以自来水为原水,依次经过预处理、一级纯水系统、二级纯水系统和终端膜过滤精处理四个组成部分而制得电子级超纯水。其中,预处理单元主要含有砂滤、超滤、活性炭吸附和纳滤,一级纯水系统主要由反渗透、膜脱气、电去离子、硼选择性离子交换树脂等单元组成,二级纯水系统主要由紫外灯氧化和抛光混床树脂组成,终端膜过滤则采用抛光反渗透膜处理。该制水系统可实现高效、清洁、可靠的非化学再生型的超纯水生产,不排放环境危害性废水,且可有效地去除杂质硼,制水系统的成本降低,水利用率得到提高,终端过滤更安全可靠。