简介： 本发明涉及一种利用焚烧法处理可燃无机氧化物的废气的装置,特别是一种硅烷燃烧塔,具有塔体和水箱,塔体内设置有燃烧筒、填料室、喷淋室和脱液室,燃烧筒下部设置在水箱中,燃烧筒外罩有镇流罩,镇流罩与燃烧筒间的空腔中装有喷淋装置,燃烧筒底部为燃烧室,中部为均压室,顶部为氮气保护室,燃烧室底部有通向塔体外的排渣口,燃烧室的筒体上有废气进气口和压缩空气进气口,废气进气口装有单向阀,在填料室上部和喷淋室处的塔体上开有检修口。本发明解决了现有的处理硅烷废气的设备运行成本较高;当可燃性气体出现熄灭、断气等故障时,硅烷废气容易出现爆炸危险;生产设备必须停机才能对废气处理设备进行检修等技术问题。