简介： 一种三氯氢硅合成炉废硅粉回收装置，包括合成炉和硅粉收集罐，合成炉通过金属软管与硅粉收集罐的接口连通，具体的说，所述合成炉的底部具有锥体结构，所述锥体结构的两端分别与氮气进口管线和正常氯化氢进气管线连通，在所述合成炉的锥体结构上部侧壁上设有硅粉泄放阀，硅粉泄放阀通过金属软管与硅粉收集罐侧壁上的接口连接，在所述硅粉收集罐顶部的氮气出口处设有布袋过滤器。本实用新型的有益效果如下：本实用新型提供的回收装置，工艺简单，工艺条件易于实现，且操作方便；再生产中可以将合成炉内废旧硅粉全部回收再使用，同时回收时不会对人员身体产生粉尘危害。