简介： 本发明涉及薄膜分离技术领域，尤其是涉及一种湿法腐蚀用装置，具体公开了一种具有废气吸收功能的反应装置及其使用方法、应用，该装置包括反应容器和废气处理装置，所述废气处理装置所述废气处理装置包括吸收物料容器和封闭罩，所述反应容器位于吸收物料容器内，所述反应容器与吸收物料容器之间设有封闭罩，所述反应容器封闭在所述封闭罩内，所述封闭罩的下部设有通孔，所述通孔使得吸收物料容器内的废气吸收物料在封闭罩内外的两部分连通。应用本发明装置能够将化学反应过程中产生的有害气体充分吸收，防止对人员和环境造成危害，具有装置结构简单、操作方便、成本低的优点，尤其适用于硅的强酸腐蚀。