简介： 用于四氯化硅洗净塔废气进口装置，设洗净塔和推渣杆，洗净塔左下侧连接以15‑30º倾斜方式插入的四氯化硅废气入口管，四氯化硅废气入口管外上层连接四氯化硅废气管、脉冲清洗装置、左端连接清理装置支管，清理装置支管连接支管盲板；打开四氯化硅四氯化硅废气管线入口阀门，95％以上四氯化硅废气密度比空气大而进入洗净塔进行中和；打开脉冲清洗装置阀门，以氮气对四氯化硅废气入口管进行吹扫，吹扫时间持续5秒，可将废气入口管的微量残留吹扫冲洗干净；如大量废气排入废气管道，或者脉冲清洗装置无法工作，作业人员可以用推渣杆进行手动清理；本技术的有益效果是：提高设备使用效率，降低对人身以及环境的危害。