简介： 本发明公开了一种制备二氧化硅气凝胶的方法及系统，该方法包括以下步骤：1)将多晶硅生产尾气通入到水中进行水解，生成硅溶胶，其中，所述多晶硅生产尾气包括二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅；2)使用碱性溶液调节所述硅溶胶的pH值为碱性，进行凝胶化处理，生成硅凝胶；3)将所述硅凝胶进行溶剂替换，替换掉所述硅凝胶中的水；4)通过超临界二氧化碳干燥或低温冷冻干燥，得到二氧化硅气凝胶。该方法使用多晶硅生产尾气作为硅源制备出二氧化硅气凝胶，既对多晶硅生产尾气中的氯硅烷进行回收综合利用，又简化了二氧化硅气凝胶制备流程，具有较好的经济效益，降低了原料成本，同时可以减少环境污染和固废处理成本，提高企业的经济效益。