简介： 本发明涉及一种用于多晶硅制绒废酸液回收利用装置和方法，其中，二次化学反应沉淀段是通过一次反应中和氢氟酸，二次反应生成氟硅酸盐的沉淀物，将该沉淀物可销售；精馏提纯段则能够将其中的稀硝酸进行精馏提纯生成浓硝酸，而方法中通过脱水剂减压精馏工艺，把硝酸蒸发提浓得到大约65%左右的稀硝酸，可以直接回用于制绒液系统中，达到硝酸的循环利用，降低药剂费用；脱水剂再生段则是通过在含有少量稀硝酸镁溶液中加入一定含量氧化镁中和后，将其进行蒸发后所余下的即为高浓度的浓硝酸镁，可直接作为脱水剂应用到精馏提纯段中去。本发明达到了废水、固废的资源化和回收利用，进一步降低企业的运营费用和生产成本，达到节能、高效及环保的要求。