简介： 一种用于净化磷化氢气体的装置，包括净化罐，进气管，出气管，电磁阀，磷化氢传感器和滤盒；所述净化罐的底部设有进气管；所述进气管的末端设有气体均布器；所述净化罐的顶部设有出气管；所述进气管和出气管上设有电磁阀；所述电磁阀与PLC控制器电连接；所述出气管下方设有磷化氢传感器；所述磷化氢传感器与PLC控制器连接；所述滤盒放置在净化罐内；所述滤盒内填充用于净化磷化氢气体的固体处理剂。该用于净化磷化氢气体的装置结构简单，使用方便，且其净化效率高达99%以上，无二次污染，不产生废液，对环境零污染。