简介： 本发明公开了一种电子级三氟甲烷的纯化方法，该方法为：将粗品三氟甲烷原料和甲醇‑锌粉浆料进行预反应，反应后得到混合气并排出固体废料；再将混合气通入脱轻塔中进行一级蒸馏脱除轻组分杂质，一级精馏后得到脱轻后混合气，并排出轻组分杂质；将脱轻后混合气通入脱重塔中进行二级精馏脱除重组分杂质，最终得到纯度大于99.999wt％的电子级三氟甲烷。本发明中粗品三氟甲烷原料与甲醇‑锌粉浆料先进行预反应，能够先脱除氟化氢和三氟一氯甲烷等杂质，可有效减少后续用精馏方法难以脱除的杂质，降低精馏的难度，同时使塔板数和回流比降低。