简介： 本发明公开了一种用于流式细胞仪的微流控芯片结构及其制作方法，该芯片包括样品液入口1，状阵列结构6，锥形聚焦结构7，微通道8，检测区4，扩流通道9，废液出口端5；柱状阵列结构6具有过滤样品液内部的团聚蛋白质杂质及其他大块生物固体杂质的作用；锥形聚焦结构7具有类似于传统的鞘流液系统的聚焦效果，使得细胞颗粒单个流入微通道8；微通道8通过通道束缚细胞使其单个通过检测区4。本发明所述芯片结构可以实现无鞘流液的聚焦作用而不产生堵塞从而减少了鞘流液的使用，同时保证了细胞颗粒单个通过检测区。该微流控芯片加工方法方便，所用的键合方法为常用的键合方法，操作简便，使用材料PDMS易于加工且具有良好的生物兼容性。