简介： 本发明提供了一种电子级四氟甲烷的纯化方法，该方法为：将粗品四氟甲烷原料与甲醇‑锌粉浆料在吸收塔中进行预反应，反应后得到混合气体，并排出固体废料；将混合气体通入脱轻塔中进行一级精馏，脱除轻组分杂质，得到脱轻后混合气体；将脱轻后混合气体通入脱重塔中进行二级精馏，脱除重组分杂质，得到电子级四氟甲烷。本发明通过粗品四氟甲烷与甲醇‑锌粉浆料进行预反应，脱除氟化氢和三氟一氯甲烷等杂质，再经一级精馏和二级精馏分别脱除轻组分杂质和重组分杂质，最终得到电子级四氟甲烷。