简介： 本发明公开了一种分离回收砂浆中砷化镓的方法，涉及晶片制造技术领域。本发明的一种分离回收砂浆中砷化镓的方法，所述方法是将废弃砂浆进行沉淀分离得到切削油和固体混合物，再将混合固体用混合酸液处理分离得到碳化硅和含镓溶液，最后将含镓溶液进行还原得到砷化镓固体。本发明公开了一种分离回收砂浆中砷化镓的方法，利用砷化镓和氮化硅之间物理性质的差异进行分离回收，分离彻底，便于再次生产利用，能够有效降低生产成本。