简介： 本实用新型公开了一种六氟化硫气体回收及提纯系统，它包括：净化处理设备，用于去除粗六氟化硫尾气中固体和/或水分和/或部分气体污染物，得到初步净化后的第一中间产物；与所述净化处理设备连接的冷却液化设备，用于对第一中间产物中的六氟化硫进行冷凝、液化，得到第二中间产物和第一次高浓度废气；与所述冷却液化设备连接的精馏纯化设备，用于对第二中间产物精馏纯化，得到高纯度的六氟化硫液体，同时使得第二中间产物中残留的杂质相变为气态，作为第二次高浓度废气排出；与所述精馏纯化设备连接的固化回收设备。本实用新型的一种六氟化硫气体回收及提纯系统，回收纯度高，能够减少液氮的消耗。