简介： 一种渣浆回收装置，用于回收多晶硅生产过程中的渣浆，包括加热渣浆的加热器、与该加热器连通以中和渣浆的中和釜、压滤中和后渣浆的板框压滤机及与加热器相连、用以回收氯硅烷的回收罐。本实用新型的渣浆回收装置，首先进行了加热回收，回收了其中的氯硅烷作为其他工序的原料备用，进一步降低了成本。其次，对渣浆进行了中和后压滤，实现固液分离，由于事先中和，分离后的废液和固体废渣都可以直接排放或者掩埋，符合排放标准，不污染环境，而且处理成本更低。