简介： 本发明公开了一种利用反应精馏生产硅烷及三氯氢硅的方法，包括在反应精馏装置中通过氯硅烷歧化或反歧化制备硅烷或三氯氢硅的步骤，其特征在于所述歧化或反歧化反应采用脂肪胺和芳香胺混合的液体催化剂。采用本发明的方法，液体催化剂无需预处理，且催化剂置换方便，也不会对后续系统造成堵塞，失效后的催化剂回收简单，无液体废弃物或固体废弃物产生，清洁环保；催化歧化或反歧化的转化率高，生产过程易操作。