简介： 本实用新型公开了一种处理缓冲氧化物刻蚀液的装置，其包括：反应釜、压滤机和综合调节池；其中，所述反应釜中包含有进料口、废气排放口和液固排放口；所述压滤机中包含有入口、固体排放口和液体排放口；所述综合调节池中包含有入口、第一出口、第二出口；所述反应釜的液固排放口与所述压滤机的入口相连；所述压滤机的液体排放口与所述综合调节池的入口相连。该装置可很好的处理BOE废液，且使得最终经过处理的BOE废液剩下的主要成分为水，可达到国家排放标准。