简介： 本发明提供了一种非晶硅薄膜电池尾气处理装置，所述装置包括焚烧部件和喷淋部件，所述焚烧部件包括焚烧室、进气口、出气口和加热器，所述加热器用于对焚烧室进行加热，非晶硅薄膜电池尾气从进气口进入焚烧室进行加热，加热之后从出气口流出；所述喷淋部件包括喷淋塔和喷淋室，所述出气口与喷淋室相通，所述喷淋塔用于对喷淋室进行喷洒液体。本发明的装置是对非晶硅薄膜电池产生的废气产物进行焚烧再通过水喷淋，最后排入大气，电池尾气中的各种混合气体变成固体、液体，再排放入大气的废气是极安全有环保的可靠气体；由于该焚烧腔室内有多级燃烧室，每级燃烧都是相通的，使非晶硅薄膜废气产物充分燃烧。